- 相關推薦
行星式化學氣相沉積反應器內對流渦旋的數值模擬
摘要：針對三重進口行星式CVD反應器的輸運過程進行了二維數值模擬研究.通過改變反應腔幾何尺寸、導流管位置、三重進口流量組合、壓強、溫度等條件,研究反應器內對流渦旋的相應變化.根據模擬結果,對這類反應器中輸運現象與外部參數的關系,特別是反應腔內對流渦旋的產生和發展作了較全面的分析和討論,給出了抑制對流渦旋、獲得薄膜生長所需的最佳輸運過程的條件. 作者： 左然[1] 張紅[1] 劉祥林[2] Author： ZUO Ran[1] ZHANG Hong[1] LIU Xiang-lin[2] 作者單位： 江蘇大學能源與動力工程學院,江蘇,鎮江,212013中國科學院半導體研究所,北京,100080 期 刊： 工程熱物理學報 ISTICEIPKU Journal： JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年，卷(期)： 2005, 26(4) 分類號： H8115 Q4725 關鍵詞： 化學氣相沉積 輸運過程 熱對流 數值模擬 機標分類號： TQ3 TN3 機標關鍵詞： 行星式 化學氣相沉積 反應器 對流渦旋 輸運過程 反應腔 外部參數 模擬研究 模擬結果 流量組合 進口 幾何尺寸 二維數值 薄膜生長 相應變 導流管 壓強 溫度 位置 基金項目： 國家自然科學基金，國家高技術研究發展計劃(863計劃)，江蘇大學校科研和教改項目 行星式化學氣相沉積反應器內對流渦旋的數值模擬[期刊論文] 工程熱物理學報 --2005, 26(4)左然 張紅 劉祥林針對三重進口行星式CVD反應器的輸運過程進行了二維數值模擬研究.通過改變反應腔幾何尺寸、導流管位置、三重進口流量組合、壓強、溫度等條件,研究反應器內對流渦旋的相應變化.根據模擬結果,對這類反應器中輸運現象與外部參...【行星式化學氣相沉積反應器內對流渦旋的數值模擬】相關文章：
火燒爐內氣相燃燒過程的三維數值模擬04-27
被動式引射器內兩相流數值模擬05-01
山地對流云的數值模擬04-29
氣升式內循環反應器內的氣含率與液體循環04-25
季節內振蕩的數值模擬Ⅰ.模擬的自然變率04-28
呼和浩特強對流天氣的數值模擬分析04-28
渦輪葉片氣膜冷卻的數值模擬04-29
氣相沉積制備硬質薄膜技術與應用述評04-29
塞式噴管流場數值模擬04-28