氣相沉積制備硬質(zhì)薄膜技術與應用述評

本文對氣相沉積技術的發(fā)展與最新趨勢給出了述評,重點強調(diào)了等離子體輔助化學氣相沉積(PCVD)的優(yōu)勢、進展及其在工模具領域的應用.

作 者： 馬勝利 徐可為 介萬奇   作者單位： 馬勝利(西北工業(yè)大學金屬凝固技術國家重點實驗室,西安,710072;西安交通大學金屬材料強度國家重點實驗室,西安,710049)

徐可為(西安交通大學金屬材料強度國家重點實驗室,西安,710049)

介萬奇(西北工業(yè)大學金屬凝固技術國家重點實驗室,西安,710072) 

刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(6)  分類號： O484  關鍵詞： 氣相沉積技術   硬質(zhì)薄膜   PCVD  

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