熱處理對氧化鎢薄膜結構和電致變色性能的影響

電致變色(EC)材料在外加電壓作用下能可逆的改變其光學性能.近年來由于其在光調節裝置方面的應用潛力,引起了廣大研究人員的興趣.其中氧化鎢是典型的電致變色材料.在本文中,電致變色氧化鎢薄膜由電子束蒸發WO3粉末的方法沉積在ITO透明導電玻璃上,所得薄膜在空氣氣氛中經(250～550)℃,(1～4)h不同的熱處理,處理后的薄膜用XRD觀察其微觀結構的變化,電致變色性能則由電化學方法測試.討論了熱處理溫度變化對薄膜結構和電致變色性能的影響.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號： O484.4  關鍵詞： 氧化鎢   薄膜   電致變色   熱處理  

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