MEMS陀螺正交誤差分析與仿真

針對MEMS陀螺由于機械耦合引起的正交誤差,建立了包含誤差的MEMS陀螺動力學(xué)方程,在開環(huán)檢測和閉環(huán)檢測情況下,分別對正交誤差進行了分析,并通過相關(guān)檢測技術(shù)抑制正交誤差對陀螺性能的影響,提取出角速度信息.運用Simulink對陀螺進行了建模仿真,仿真結(jié)果表明:在開環(huán)檢測和閉環(huán)檢測情況下都能夠有效消除正交誤差的影響,由此驗證了理論分析的正確性.

作 者： 溫佰仟 劉建業(yè) 李榮冰 WEN Bai-qian LIU Jian-ye LI Rong-bing   作者單位： 南京航空航天大學(xué),導(dǎo)航研究中心,江蘇,南京,210016  刊 名： 傳感器與微系統(tǒng)  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2008 27(9)  分類號： V241.5  關(guān)鍵詞： 微電子機械系統(tǒng)   陀螺   正交誤差   機械耦合   平均化分析方法  

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