基于衰減全反射結構的微小位移的實時測量

利用衰減全反射結構制作出一種新型實時測量微小位移的傳感器.方法是用帶有一定入射角寬度的光束代替傳統的角度掃描,在計算機屏幕上同時顯示標志波導模式的一組暗線.當外界工作條件發生變化,暗線就會隨之移動,利用屏幕上暗線的移動來測量微小位移.研究表明,該器件測量實時性強、精確度較高、設備簡單、成本低、易于調節等諸優點,預計在微加工等領域具有潛在的應用價值.

作 者： 歐陽坤 況慶強 肖平平 樂建新 OUYANG Kun KUANG Qing-qiang XIAO Ping-ping LE Jian-xin   作者單位： 歐陽坤,況慶強,樂建新,OUYANG Kun,KUANG Qing-qiang,LE Jian-xin(江西師范大學物理與通信電子學院,江西南昌,330027)

肖平平,XIAO Ping-ping(宜春學院物理科學與工程技術學院,江西宜春,336000) 

刊 名： 江西師范大學學報（自然科學版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF JIANGXI NORMAL UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES EDITION）  年，卷(期)： 2008 32(3)  分類號： O432.2  關鍵詞： 衰減全反射   微小位移   傳感器  

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