全氯取代酞菁鋅的合成及其Cl2氣敏性研究

本文以四氯鄰苯二腈和尿素為原料,采用鉬酸銨固相催化法合成了全氯取代氯酞菁鋅,并通過(guò)紅外、紫外光譜對(duì)其進(jìn)行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技術(shù)制造了敏感電極,采用蒸發(fā)鍍膜工藝制作了氣體傳感器薄膜.氣敏測(cè)試結(jié)果表明:該傳感器對(duì)氯氣有較理想的靈敏特性.

作 者： 雷廷平 施云波 趙文杰 李贊 王立權(quán) Lei Tingping Shi Yunbo Zhao Wenjie LiZan Wang Liquan   作者單位： 雷廷平,趙文杰,Lei Tingping,Zhao Wenjie(哈爾濱理工大學(xué)應(yīng)用科學(xué)學(xué)學(xué)院,哈爾濱:,150080)

施云波,Shi Yunbo(哈爾濱理工大學(xué)測(cè)控技術(shù)與通信工程學(xué)院,哈爾濱:150080;哈爾濱工程大學(xué)機(jī)械工程博士后科研流動(dòng)站,哈爾濱:150001)

李贊,LiZan(哈爾濱學(xué)院生命科學(xué)與化學(xué)學(xué)院,哈爾濱:,150086)

王立權(quán),Wang Liquan(哈爾濱理工大學(xué)測(cè)控技術(shù)與通信工程學(xué)院,哈爾濱:,150080) 

刊 名： 陶瓷學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF CERAMICS  年，卷(期)： 2008 29(3)  分類(lèi)號(hào)： O484.4  關(guān)鍵詞： 全氯取代酞菁鋅   表征   氣敏性  

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