激光等離子體效應對硅表面損傷特征的影響

摘要：硅材料作為光電探測器的基礎材料,研究其在強激光輻照下的損傷問題在激光探測、國防領域很有意義.對高強度納秒激光作用下硅表面的損傷形貌特征進行了研究,結果表明:激光等離子體的熱效應及沖擊波效應,使激光作用區域內的物質迅速向外飛濺,形成點坑,并在點坑周圍形成輻射狀冷卻物；散射光與入射激光干涉產生形成周期性分布的熱應力使得硅材料表面張力發生變化,冷卻后會在坑底表面產生周期性結構；從激光等離子體的光譜中可以發現N,O和si的特征光譜,在重復激光脈沖作用下會在硅表面上覆蓋一層導致色變的SiOx和SiNx復合薄膜,是激光等離子體的噴射產物. 作者： 范衛星[1]  韓敬華[2]  李海波[3]  楊李茗[3]  馮國英[2]  高翔[2]  劉巖巖[2]  包凌東[2]  黃永忠[2] Author： FAN Wei-xing[1]  HAN Jing-hua[2]  LI Hai-bo[3]  YANG Li-ming[3]  FENG Guo-ying[2]  GAO Xiang[2]  LIU Yan-yan[2]  BAO Ling-dong[2]  HUANG Yong-zhong[2] 作者單位： 四川大學電子信息學院,四川成都610064;奧普鍍膜技術(廣州)有限公司,廣東廣州510730四川大學電子信息學院,四川成都,610064成都精密光學工程研究中心,四川成都,610041 期 刊： 光譜學與光譜分析   ISTICEISCIPKU Journal： Spectroscopy and Spectral Analysis 年，卷(期)： 2011, 31(12) 分類號： O539 關鍵詞： 激光等離子體    多晶硅    激光誘導損傷    周期性結構    機標分類號： TP2 TN7 機標關鍵詞： 激光等離子體    體效應    硅表面    損傷特征    Silicon Surface    Laser Plasma    激光作用    周期性結構    硅材料    強激光輻照    光電探測器    沖擊波效應    作用區域    形貌特征    特征光譜    脈沖作用    冷卻    激光探測    激光干涉    基礎材料 基金項目： 國家自然科學基金重大項目，國家自然學基金委員會-中國工程物理研究院聯合基金，四川大學青年教師科研啟動基金 激光等離子體效應對硅表面損傷特征的影響[期刊論文]  光譜學與光譜分析 --2011, 31(12)范衛星  韓敬華  李海波  楊李茗  馮國英  高翔  劉巖巖  包凌東  黃永忠硅材料作為光電探測器的基礎材料,研究其在強激光輻照下的損傷問題在激光探測、國防領域很有意義.對高強度納秒激光作用下硅表面的損傷形貌特征進行了研究,結果表明:激光等離子體的熱效應及沖擊波效應,使激光作用區域內的...

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