用光譜法測試相位光柵層的厚度

按傅里葉光學,當平面波通過光柵時,不同級次的衍射角和強度由光柵而定,根據光柵的衍射頻譜可以反推出光柵本身的多種信息.一個新的方法就是選用不同級次的功率譜來測量相位光柵的深度.對3塊光柵進行了測試,并給出計算的光柵深度.同時給出6塊光柵的測試結果--多級衍射強度,結果表明誤差值不大于5%.

作 者： 曹向群 連華 李何立   作者單位： 浙江大學國家光學儀器工程技術研究中心,杭州,3l0027  刊 名： 中國激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2004 31(z1)  分類號： O438.2  關鍵詞： 相位光柵   測試   衍射譜  

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