熱陰極輝光放電對金剛石膜沉積的影響

研究了在熱陰極輝光放電等離子體化學氣相沉積金剛石膜過程中,熱陰極輝光放電特性與金剛石膜沉積工藝的關系.結果表明,適當的陰極溫度是保證大電流、高氣壓輝光放電的必要條件.陰極的溫度影響輝光放電陰極位降區的放電性質.金剛石膜的沉積速率隨著氣體壓力(16～20 kPa)的升高而上升,在18.6 kPa左右出現最高值,而陽極位降區電場強度的降低使膜品質下降.放電電流(8～12 A)對沉積速率的影響與氣體壓力的影響具有相似的規律.

作 者： 白亦真 金曾孫 姜志剛 韓雪梅   作者單位： 吉林大學超硬材料國家重點實驗室  刊 名： 材料研究學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH  年，卷(期)： 2003 17(5)  分類號： O613 TB383  關鍵詞： 無機非金屬材料   熱陰極   等離子體化學氣相沉積   輝光放電   金剛石膜  

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