溶膠-凝膠法制備寬帶減反膜

為了克服單層減反射膜剩余反射高,色彩還原性能差的缺點(diǎn),需要制備寬帶減反膜.納米多孔SiO2薄膜可以實(shí)現(xiàn)很好的寬帶減反效果.本文用光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)程序模擬了光學(xué)參數(shù)的變化對薄膜光學(xué)性能的影響,優(yōu)化了薄膜的光學(xué)參數(shù).實(shí)驗(yàn)上通過酸堿兩步法和溶膠-凝膠技術(shù)制備了折射率梯度的納米多孔SiO2寬帶減反膜.采用橢偏儀、FE-SEM、紫外-可見分光光度計(jì)等方法研究薄膜的光學(xué)特性和表面形貌.結(jié)果表明實(shí)驗(yàn)制備的SiO2薄膜具有可控的納米多孔結(jié)構(gòu),折射率在1.18～1.43之間可連續(xù)調(diào)節(jié).形成的寬帶減反膜在可見光區(qū)域的平均反射率僅為0.44%.

作 者： 付甜 吳廣明 沈軍 肖軼群 張志華 楊帆 王玨   作者單位： 同濟(jì)大學(xué),波耳固體物理研究所,上海,200092  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(5)  分類號： O484  關(guān)鍵詞： 寬帶減反膜   溶膠-凝膠   折射率調(diào)節(jié)  

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