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絨面ZnO:Al(ZAO)透明導(dǎo)電薄膜的制備
利用中頻交流磁控濺射方法,采用氧化鋅鋁(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制備了絨面ZAO(ZnO:Al)薄膜,考察了所制備的絨面ZAO薄膜與絨面SnO2:F薄膜在絨度、粗糙度、表面形貌以及電學(xué)性質(zhì)的差異,利用原子力顯微鏡對薄膜表面形貌進(jìn)行了分析并計算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可見分光光度計和電阻測試儀測量了薄膜的光學(xué)、電學(xué)特性.結(jié)果表明:所制備的絨面ZAO薄膜具有與絨面SnO2:F薄膜相比擬的各種性能,在非晶硅太陽電池中具有潛在的應(yīng)用前景.
作 者: 付恩剛 方玲 莊大明 張弓 作者單位: 清華大學(xué)機(jī)械工程系,北京,100084 刊 名: 太陽能學(xué)報 ISTIC EI PKU 英文刊名: ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA 年,卷(期): 2003 24(5) 分類號: O484 關(guān)鍵詞: 磁控濺射 絨面 ZAO薄膜 SnO2:F薄膜【絨面ZnO:Al(ZAO)透明導(dǎo)電薄膜的制備】相關(guān)文章:
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