高效平面全息衍射光柵的獲取方法

從全息衍射光柵的制作原理出發(fā)，介紹了全息光柵的主要制作方法，并與刻劃光柵對(duì)比分析了全息衍射光柵的諸多優(yōu)點(diǎn)。通過利用光柵設(shè)計(jì)的耦合波理論對(duì)全息衍射光柵槽型、槽深及槽間距等進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，同時(shí)利用離子束刻蝕技術(shù)獲得了高效率全息光柵。文中全面分析了制作高效率平面全息光柵的各項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。

作 者： 趙博 齊向東 ZHAO Bo QI Xiang-dong   作者單位： 趙博,ZHAO Bo(北京大學(xué)遙感與地理信息系統(tǒng)研究所,)

齊向東,QI Xiang-dong(中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所,) 

刊 名： 光學(xué)精密工程  ISTIC EI PKU 英文刊名： OPTIC AND PRECISION ENGINEERING  年，卷(期)： 2001 9(2)  分類號(hào)： O436.1  關(guān)鍵詞： 全息光柵   離子刻蝕   衍射效率  

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