微機電系統(MEMS)技術的研究與應用

微機電系統是源于微電子加工技術,融合了微機械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統.其特征尺寸極小,學科交叉廣泛;技術研究包括微系統理論、設計建模、微機械加工、微器件集成等多個方面;學科分類涵蓋了機械、力學、光學、流體、電磁學、生物學等各領域,在民品和軍品領域有許多熱點應用.本文介紹了微機電系統發展概況、微機電系統技術關鍵、微機電系統有關傳感器,以及微機電系統熱點應用和微機電系統技術的發展前景.

作 者： 高世橋 曲大成   作者單位： 高世橋(北京理工大學機電工程學院)

曲大成(信息科學技術學院,北京,100081) 

刊 名： 科技導報  ISTIC PKU 英文刊名： SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW  年，卷(期)： 2004 ""(4)  分類號： H TP TM O3  關鍵詞： 微機電系統   MEMS   微機械加工   智能控制  

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