一種用于輝光放電光譜深度分析的激光實時測量新方法

摘要：輝光放電原子發射光譜儀可用于物質表面化學成分隨深度分布的分析,在鍍層分析、金屬材料檢驗等領域有著廣泛的應用.文章介紹了輝光深度分析的傳統方法和局限性以及實時深度測量技術的近期研究,提出了一種用于輝光放電光譜深度分析的激光實時測量新方法.文章采用激光位移傳感器和根據激光測最方法設計的輝光放電光源構成實時深度測量系統,詳細闡述了系統的設計方案和技術原理.系統的設計結構能夠實現在輝光光譜分析的同時進行激光實時濺射深度的測量.通過實驗驗證和分析了激光實時測量樣品濺射深度過程中產生的光源位移現象.采用雙激光器實時深度測量系統對鋅合金標準樣品進行了濺射深度的實時測量,給出了實時深度測最曲線.通過將濺射面測量曲線與參考面曲線進行疊加,得到了樣品濺射坑深度的實際值,與Dektak8型表面形貌儀測量結果一致. 作者： 萬真真[1]李小佳[1]王永清[2]施宇[3]孫榮霞[2] Author： WAN Zhen-zhen[1]  LI Xiao-jia[1]  WANG Yong-qing[2]  SHINing[3]  SUN Rong-xia[2] 作者單位： 鋼鐵研究總院,國家鋼鐵材料測試中心,北京100081河北大學電子信息工程學院,河北保定,071002北京航空航天大學軟件學院,北京,100191 期 刊： 光譜學與光譜分析   ISTICEISCIPKU Journal： Spectroscopy and Spectral Analysis 年，卷(期)： 2011, 31(9) 分類號： O657.3 關鍵詞： 輝光放電原子發射光譜儀    深度輪廓分析    激光測量    實時深度測量    輝光放電    鍍層    機標分類號： O65 O73 機標關鍵詞： 輝光放電光譜    深度分析    激光位移傳感器    實時測量    新方法    Analysis    Depth Profile    Laser Measurement    Determination Method    濺射    測量系統    原子發射光譜儀    合金標準樣品    設計方案    測量曲線    表面化學成分    表面形貌儀    文章    位移現象    實驗驗證 基金項目： 國家科技部科學儀器設備升級改造專項課題

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