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透射光譜法測試薄膜的光學參數
推導了使用透射光譜極值法來確定薄膜光學參數的理論公式,并對溶膠-凝膠法制作的摻不同濃度二氧化錫的二氧化硅薄膜的折射率和厚度進行了計算.由于透射光譜法來確定薄膜的光學參數時需要其有一定的厚度來形成干涉峰,而用溶膠凝膠浸漬法單次提拉的薄膜厚度太薄,因此用多次提拉的方法來增加厚度.最后借助于柯西色散公式,在其它波段對折射率進行了擬合.結果表明,薄膜的折射率隨著二氧化錫含量的增加而增加,相同提拉次數的薄膜厚度也基本相同.
作 者： 顧曉明 賈宏志 王鏗 朱一 GU Xiaoming JIA Hongzhi WANG Keng ZHU Yi 作者單位： 上海理工大學,光電信息與計算機工程學院,上海,200093 刊 名： 光學儀器 ISTIC 英文刊名： OPTICAL INSTRUMENTS 年，卷(期)： 2009 31(2) 分類號： O484.5 關鍵詞： 透射光譜 薄膜 光學參數 折射率【透射光譜法測試薄膜的光學參數】相關文章：
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