電弧離子鍍硬質(zhì)梯度薄膜技術(shù)

電弧離子鍍?cè)O(shè)備若具有必要的功能條件,就可用純金屬分離靶弧流控制技術(shù)來(lái)制取多元硬質(zhì)梯度薄膜,本工作明確合成梯度薄膜的工藝原則,并以TiAl多層合金梯度薄膜和(Ti,M)N(M為Zr,Nb等元素)硬質(zhì)梯度薄膜為例,進(jìn)一步展開說(shuō)明該技術(shù)的工藝過(guò)程,對(duì)實(shí)際效果給予評(píng)定.結(jié)果表明,用電弧離子鍍技術(shù)制備多元硬質(zhì)梯度薄膜,具有操作簡(jiǎn)便、沉積速度快、成分調(diào)節(jié)范圍寬等優(yōu)點(diǎn),為多元復(fù)合硬質(zhì)薄膜的合金強(qiáng)化機(jī)制與結(jié)構(gòu)優(yōu)化研究,提供了關(guān)鍵的技術(shù)條件.

作 者： 林國(guó)強(qiáng)   作者單位： 大連理工大學(xué)三束材料表面改性國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,大連,116024  刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(3)  分類號(hào)： O484.1  關(guān)鍵詞： 電弧離子鍍   硬質(zhì)薄膜   梯度薄膜  

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