脈沖電弧蒸發源的研究

本文介紹西安工業學院研制的脈沖電弧蒸發源的原漸變膜的性能指標.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號： O484.4  關鍵詞： 脈沖電弧   蒸發源   離子鍍   類金剛石膜   薄膜  

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