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脈沖電弧蒸發(fā)源的研究
本文介紹西安工業(yè)學(xué)院研制的脈沖電弧蒸發(fā)源的原漸變膜的性能指標(biāo).
作 者: 作者單位: 刊 名: 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年,卷(期): 2004 24(z1) 分類號(hào): O484.4 關(guān)鍵詞: 脈沖電弧 蒸發(fā)源 離子鍍 類金剛石膜 薄膜【脈沖電弧蒸發(fā)源的研究】相關(guān)文章:
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