壓電振動微機械陀螺研究

本文介紹了一種新型的壓電振動微機械陀螺.與其它大多數壓電陀螺不同,它不需要彈性元件,由壓電材料本身構成振子完成陀螺功能.由PZT薄膜材料做成的平板沿厚度方向極化并受電激勵產生厚度伸縮振動,當一輸入角速度作用于振子,根據哥氏效應,則在極化軸和輸入角速度軸組成的平面垂直方向上產生一正比于輸入角速度大小的感應電壓.它是一種雙軸陀螺.本文給出了它的物理模型,并用PZT陶瓷晶體做了宏觀模擬實驗.實驗結果與理論計算一致.文章還對由PZT薄膜構成的微機械壓電陀螺進行了性能估算.

作 者： 何國鴻 陳抗生   作者單位： 浙江大學信息與電子工程學系,杭州,310027  刊 名： 電子學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA ELECTRONICA SINICA  年，卷(期)： 1998 26(11)  分類號： V2  關鍵詞： 陀螺   壓電   微機械   厚度伸縮振動  

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