低鏡面反射納米硅鍍膜玻璃制備及拉曼光譜表征

為解決"光污染"問題,我們采用化學氣相沉積的方法及后退火工藝,制備了低鏡面反射納米硅鍍膜玻璃.用拉曼譜對樣品的微結構進行表征,并測量了薄膜的反射率.結果表明,退火樣品由于表面氧化形成低折射率的氧化物,以及大晶粒增強了對可見光的散射,因而具有低的反射率.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號： O484.4  關鍵詞： 拉曼譜   鍍膜玻璃   散射  

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