新型聲表面波器件中氧化鋅薄膜的研制

本文采用直流磁控反應濺射法,在單晶Si(110),Al/Si,Diamond/Si三種襯底上分別生長出了高度c軸取向的ZnO薄膜.此薄膜具有高質量的納米級結晶度(10nm～30nm),良好的表面平整度(低于10nm),高于107Ω·cm的電阻率及較高的應力承載性,很好的滿足了薄膜聲表面波(SAW)器件制備及降低損耗的需要.通過改變工作氣壓,氬氧比等工藝參數,較系統地探索了ZnO薄膜的制備條件.采用多種分析手段,如X射線衍射(XRD),掃描電鏡(SEM),高能反射式電子衍射(RHEED),原子力顯微鏡(AFM)等對薄膜的微觀結構及結晶品質進行了測試分析,并對薄膜的電學性能及機械性能進行了考察.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號： O429 TN65  關鍵詞： ZnO薄膜   c軸取向   聲表面波  

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