Nd摻雜對ZnSe薄膜微結構的影響

利用真空蒸發的方法制備ZnSe多晶薄膜,并采用雙源法對薄膜進行了稀土元素Nd的摻雜.對薄膜進行了XRD測試,并計算了薄膜的晶粒尺寸、晶格常數以及內應力.結果表明,當原子配比Zn:Se=0.9:1時可制備較理想的Znse多晶薄膜,稀土Nd摻雜并未改變樣品的物相結構,摻雜使得薄膜的晶粒尺寸減小,晶胞體積增加,內應力和晶格常數改變.實驗還發現,適度的輕摻雜Nd可增加ZnSe薄膜的光透射性.

作 者： 吳蓉 李蓉萍 安曉暉 何志剛 李忠賢 WU Rong LI Rong-ping AN Xiao-hui HE Zhi-gang LI Zhong-xian   作者單位： 內蒙古大學,物理科學與技術學院,呼和浩特,010021  刊 名： 信息記錄材料  ISTIC 英文刊名： INFORMATION RECORDING MATERIALS  年，卷(期)： 2009 10(6)  分類號： O484  關鍵詞： ZnSe薄膜   微結構   真空蒸發   摻雜  

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