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軟X射線多層膜與衰減膜研究
采用隨機(jī)數(shù)的方法,發(fā)展了一種普適的多層膜設(shè)計(jì)方法,這種方法除可設(shè)計(jì)一 般的周期多層膜,更重要的是它可以根據(jù)選定的評(píng)價(jià)因子,設(shè)計(jì)不同要求的非周期多層膜.用磁控濺射方法完 成軟X射線多層膜制備,X射線衍射、盧瑟福背散射、俄歇電子譜和反射率的相對(duì)測(cè)試用來(lái)表征多層膜結(jié)構(gòu)和特性,所 得結(jié)果說(shuō)明多層膜的結(jié)構(gòu)完整,周期參數(shù)正確.用離子束濺射方法成功地制備了有一定反射率和透過率的軟X射線 半反半透分束鏡;分析了Ag和Zr衰減膜中的雜質(zhì)含量與分布及其對(duì)衰減膜特性的影響,并對(duì)衰減系數(shù)進(jìn)行了修正,為實(shí)驗(yàn)提供優(yōu)質(zhì)的衰減膜.
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