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全息平面變間距光柵位移傳感器研究
基于變間距光柵位移傳感器的基本原理,研究了高線密度變化率全息平面變間距光柵的制作方法.所作的變間距光柵已應用在變間距光柵位移傳感器中,原理樣機測試結果表明,系統(tǒng)分辨率可以達到0.05 mm,相對誤差可以控制在0.2% FS之內,優(yōu)于設計指標.
付紹軍,劉正坤,徐向東,何世平,FU Shao-jun,LIU Zheng-kun,XU Xiang-dong,HE Shi-ping(中國科學技術大學,國家同步輻射實驗室,合肥,230029)
李秉實,吳忠,LI Bing-shi,WU Zhong(西安航空618研究所,西安,710065)
刊 名: 光子學報 ISTIC PKU 英文刊名: ACTA PHOTONICA SINICA 年,卷(期): 2007 36(4) 分類號: O436 TH7 關鍵詞: 全息光柵 變間距光柵 位移傳感器【全息平面變間距光柵位移傳感器研究】相關文章:
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