半導體工業的變遷

近50年來半導體工業的進展,簡直如神話一般,改變了人類的生活,極大地推動社會的進步.著名的摩爾定律一直引領著半導體工業的發展歷程.

作 者： 莫大康   作者單位： 應用材料中國公司  刊 名： 電子工業專用設備  英文刊名： EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING  年，卷(期)： 2003 32(4)  分類號： F4  關鍵詞：  

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